1970年，荷蘭科學家Bergveld研制出了對氫離子響應的離子敏感場效應晶體管，標志著離子敏半導體傳感器的誕生。半導體傳感器以其易于實現集成化，微型化、靈敏度高等諸多優點，一直引起世界各國科學家的重視和興趣。由于電子技術的飛速發展，以半導體傳感器為代表的各種固態傳感器相繼問世。這類傳感器主要是以半導體為敏感材料，在各種物理量的作用下引起半導體材料內載流子濃度或分布的變化，通過檢測這些物理特性的變化，即可反映被測參數值。它與各種結構型傳感器相比，具有如下特點：
1、氣敏傳感器—由于傳感器原理是基于物理變化的，因而沒有相對運動部件，可以做到結構簡單，微型化；
2、氣敏傳感器—靈敏度高，動態性能好，輸出為電量；
3、氣敏傳感器—采用半導體為敏感材料容易實現傳感器集成化，智能化；
4、氣敏傳感器—功耗低，安全可靠。同時，半導體傳感器也存在以下一些缺點：
5、氣敏傳感器—線性范圍窄，在精度要求高的場合應采用線性化補償電路；
6、氣敏傳感器—與所有半導體元件一樣，輸出特性易受溫度影響而漂移，所以應采用補償措施；
7、氣敏傳感器—性能參數離散性大。
雖然存在上述問題，但半導體傳感器仍是傳感器發展的重要方向，尤其是大規模集成電路技術的不斷發展，半導體傳感器的技術也日臻完善。