半導體探測器的前身可以認為是晶體計數器 。早在1926年就有人發現某些固體電介質在核輻射下產生電導現象。后來，相繼出現了氯化銀、金剛石等晶體計數器。但是，由于無法克服晶體的極化效應問題，迄今為止只有金剛石探測器可以達到實用水平。半導體探測器發現較晚，1949年開始有人用α 粒子照射鍺半導體點接觸型二極管時發現有電脈沖輸出。到1958年才出現第一個金硅面壘型探測器。直至60年代初，鋰漂移型探測器研制成功后，半導體探測器才得到迅速的發展和廣泛應用。
