國家重大科學儀器設備開發項目在成都高新區啟動

　　10月9日，記者從成都高新區獲悉，由成都太科光電技術有限責任公司承擔的國家重大科學儀器設備開發項目“超光滑表面無損檢測儀”正式啟動。據悉，該項目是四川省成功申報的“十三五”期間第一個，同時也是目前四川省唯一一個重點研發計劃項目，有望打破長期以來被國外公司壟斷和價格壁壘的格局。預計2020年實現產業化，年產值將達人民幣上億元，同時將帶動相關產業的發展。

　　 據了解，該項目是國家“十三五”重大科學儀器設備開發項目，由太科光電牽頭，協同國內多家技術實力雄厚的大學、研究所和企業形成產、學、研、用相結合的項目團隊，以儀器系統化與集成化結合多表面干涉重疊條紋分離算法為突破口，解決高精度超光滑表面無損檢測的關鍵技術瓶頸，實現高端超光滑表面無損檢測儀器國產化，替代國外同類產品，打破國外公司的技術壟斷和價格壁壘。

　　 該儀器可以廣泛應用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體制造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質量等關鍵參數的快速檢測，還可應用于大型現代光學工程系統。預計將取得或申請發明ZL、軟件著作權、相關標準等25項，發表相關論文20余篇。

　　 項目完成后，將研制數臺超光滑表面無損檢測儀，形成具有自主知識產權的系列化產品和關鍵技術與產業化路線，為未來產業化發展提供工藝路線。預計項目驗收后三年內，完善儀器產品化所有流程，基本形成產品化的標準工藝流程，年產值將達上億元。該項目計劃投入人民幣5200萬元，由于該項目是國家“十三五”重大科學儀器設備開發項目，因此目前已獲得國家科技部2000萬元、成都高新區200萬元資金支持。