主要用途： 適用于納米材料精細形貌的觀察，可薛利高質量高分辨二次電子圖像。該儀器配備的X射線能譜儀可對塊狀樣品做定性及半定量分析。可向樣品室充入多種氣體，在低真空下仍能獲得優于2nm的高分辨圖像；可向樣品室通入水蒸氣，使含水、含油及不導樣品可直接觀察；可在樣品室內對樣品做加溫（可達1000℃）、低溫（達－20℃）處理，對化學反應過程進行實時觀測。該設備適用于物理、材料、半導體、超導體、化學高分子、地質礦物、生物、醫學等領域的微觀研究和分析。
