按照樣品狀態，進樣方式可分為三大類：液體進樣、固體進樣、氣體進樣。每一類進樣方式中又有許多結構、方法、方式不同的裝置。
（1）液體進樣裝置 將液體霧化，以氣溶膠的形式送進等離子體焰炬中。
氣動霧化器：包括不同類型同心霧化器、垂直交叉霧化器、高鹽量的 Babington式霧化器。
超聲波霧化器：包括去溶的超聲波霧化器和不去溶的超聲波霧化器。
高壓霧化器：這種霧化器比通常的霧化裝置能承受更高的氣體壓力。
微量霧化器：包括進樣量少的霧化器和循環霧化器。
耐氫氟酸的霧化器：由特殊材料制作（例如鉑、銠或聚四氟乙烯等），不易被氫氟酸腐蝕。
（2）固體進樣裝置將固體試樣直接氣化，以固態微粒的形式送進等離子體焰炬中。
火花燒蝕進樣器：采用火花放電將樣品直接燒蝕產生的氣溶膠引入ICP焰炬中。
激光燒蝕進樣器：采用激光直接照射在試樣上，使產生的氣溶膠引入ICP焰炬中，包括激光微區燒蝕進樣。
電加熱法進樣器：可進液體樣品與膠狀物樣品，類似于AA石墨爐進樣裝置方式、銀片電加熱進樣裝置。
懸浮液進樣器:可將具有懸浮物的液體試樣引入ICP火焰。
插入式進樣:石墨杯（Horlick 式）進樣裝置見后面介紹。
（3）氣體進樣裝置 將氣態樣品直接送進等離子體焰炬中。
除了氣體直接進樣裝置外，通過氫化物發生裝置，將生成氣態氫化物送進等離子體焰炬中，也屬氣體進樣方式。
總之，進樣裝置種類繁多，它的性能對ICP發射光譜儀分析性能有很大的影響。儀器的檢出限、測量精度、靈敏度均與進樣裝置的性能有直接關系。
長期以來，進樣裝置一直是ICP發射光譜技術研究的一個熱點。當前ICP發射光譜分析主要以溶液進樣應用最為廣泛，對于溶液樣品，它是將溶液引入，使其成為氣溶膠進入ICP火焰中，并使之蒸發、原子化、激發，得到需要的原子發射光譜譜線。這一進樣系統是由炬管、霧化器、霧室三部分組成，由于篇幅所限，這里只介紹經常使用的幾種進樣裝置。