1、電導率不同，純水電導率在 210us/ cm之間，超純水的電導率為 0. 056us/ cm；
2、制造的難易程度不同，目前市場上使用的純水基本上都是經過反滲透和蒸餾兩種方法制得，而超純水是在純水的基礎上還要經過光氧化技術、精處理和拋光處理等一系列復雜的純化技術制得的。
3、重金屬、細菌、微粒數等指標也大不相同，純水是 ppm級，而超純水為 ppb級，簡單地說超純水中已經沒有什么雜質，接近于理論上的水。
4、使用的領域也不相同；
5、對輸送管道材質的要求也不相同，超純水對輸送管道材質的要求要比超純水嚴格的多。