強強聯手英格爾&安捷倫共建半導體聯合檢測中心

　　分析測試百科網訊 2020年6月28日，由英格爾&安捷倫舉辦的“2020年高純電子材料測試分析技術研討會”及“高純電子材料檢測中心”啟動儀式在浦東卓美亞喜瑪拉雅酒店開幕。

活動現場

　　此次會議邀請中國電子材料行業協會、中國電子化工新材料聯盟、上海集成電路協會、上海市政府部門、半導體制造產業鏈企業，包括芯片制造企業、電子化學品制造企業、FPD 平面顯示制造企業等，共同研討疫情過后，國內電子材料發展的機遇與挑戰，高品質電子材料標準與質量控制及政府對產業發展的扶持政策。

上海市集成電路行業協會秘書長 徐偉

　　上海市集成電路行業協會秘書長徐偉帶來題為《半導體專用材料的機遇與挑戰》的精彩報告。半導體材料國產化挑戰與機遇并存。晶圓制造材料包括 硅片 、光刻膠、光掩膜版、電子特氣、濕化學品、濺射靶材、CMP拋光材料等。目前我國高端晶圓制造材料主要被歐美及日韓企業壟斷，占據市場份額的80%左右。隨著半導體產業向中國轉移和配套產業鏈的完善，未來材料端的進口替代、打造集成電路產業生態鏈是必然趨勢。目前部分中低端品種已實現進口替代，部分優秀企業已在高端產品進口替代上取得了重要突破。

上海市閔行區經委高新技術產業化促進中心高級工程師 郭潔茜

　　上海市閔行區經委高新技術產業化促進中心高級工程師郭潔茜進行了閔行區政府對半導體行業的扶持政策解析。

　　中國電子材料行業協會常務副秘書長、中國電子化工新材料產業聯盟秘書長魯瑾帶來題為《疫情影響下國內半導體材料發展的展望》的精彩報告。報告指出2019年受存儲芯片下滑影響，全球半導體市場營收大幅下跌12%。新冠疫情的沖擊、中美貿易戰不斷升溫會導致2020年全球半導體市場營收繼續下滑。從區域分布看，亞太地區占據了全球半導體市場的半壁江山，（2019年）銷售額達2552億美元，占比61.93%。

　　報告指出國內半導體行業存在企業規模小、研發投入不足、產品同質化嚴重、供應鏈體系發展不完善等問題。目前國際形勢不斷變化，國內半導體晶圓廠以疫情為契機，考慮借機引入國產供應商作為備份。特別是在導入新的產品、新的項目建設時國產材料供應商要抓住可以進入的機會。

“高純電子材料檢測中心”啟動儀式

安捷倫科技副總裁張建苗

　　安捷倫科技副總裁張建苗致辭。在半導體產業鏈領域，安捷倫從其前身惠普公司開始，一直緊跟半導體客戶的需求，為半導體領域為客戶提供了持續的支持，并在集成電路制程領域中至關重要的高純檢測分析儀器及解決方案領域，一直處于領先的地位。張建苗表示英格爾是安捷倫非常重要的客戶，長期以來雙方一直緊密合作。“高純電子材料聯合檢測中心”的建成，將促使雙方各自在半導體產業鏈分析檢測領域的優勢更好地結合起來，共同推動國家半導體產業的發展。

英格爾集團總裁楊宏奇

　　英格爾集團總裁楊宏奇致辭。楊宏奇表示國家大力發展半導體，芯片產業。在《中國制造2025》中，集成電路相關的內容也被列在發展新一代信息技術產業的首位。本次與安捷倫的合作將促進英格爾在半導體行業的檢測能力，為客戶提供更好的質量保障整體解決方案。

英格爾高純電子材料檢測中心負責人張君峰

　　英格爾高純電子材料檢測中心負責人張君峰帶來題為《超純化學品檢測質量控制要點解析》的精彩報告。半導體第三方檢測服務從屬于檢驗檢測認證服務，在“十三五規劃明確提出了，今后五年要加快推進認證認可強國建設，制定檢驗檢測行業的發展目標：預計到今年(2020年)我國檢驗檢測認證服務業總收入達到3000億元左右，比“十二五”末增長55%左右。報告介紹了超純化學品檢測的目標規劃、質量要素、質量流程、體系運行、品質管控、客戶服務和持續改善等。

安捷倫原子光譜東區應用經理曾祥程

　　安捷倫原子光譜東區應用經理曾祥程帶來了題為《半導體先進制程中無機元素分析的關鍵要素》的精彩報告。安捷倫與半導體行業有著不解之緣，從惠普時期開始，安捷倫在ICP-MS產品及半導體無機元素分析領域實現了一次次技術提升，從冷等離子體技術到世界上第一臺串接 ICP-MS等等，并始終處于這個領域創新的最前沿。半導體制程中，為了嚴格控制濕化學品中無機雜質，需要使用ICP-MS等分析儀器，對其中痕量及超痕量的元素進行檢測，包括硫酸，雙氧水等無機試劑，以及顯影劑,光刻膠等有機試劑。半導體制程中的濕化學品，化學組成非常復雜，通常讓痕量元素分析面臨諸多困難。報告介紹了ICP-MS在檢測無機元素時所展現的具體分析性能。