形成ICP焰炬通稱為點火。
點火分為三步：第一步是向外管及中管通入等離子體和輔助氣，此時中心管不通氣體，在炬管中建立氬氣氣氛；
第二步向感應圈接入高頻電源，一般頻率為7~50MHz，電源功率1~1.5kW，此時線圈內有高頻電流I及由它產生的高頻電磁場。
第三步是用高頻火花等方法使中間流動的工作氣體電離，產生的離子和電子再與感應線圈所產生的起伏磁場作用。
這一相互作用使線圈內的離子和電子沿圖中的封閉環路流動；它們對這一運動的阻力則導致歐姆加熱作用。由于強大的電流產生高溫，是氣體加熱，從而形成火炬狀的等離子體。