掃描探針顯微鏡以其分辨率極高（原子級分辨率）、實時、實空間、原位成像，對樣品無特殊要求（不受其導電性、干燥度、形狀、硬度、純度等限制）、可在大氣、常溫環境甚至是溶液中成像、同時具備納米操縱及加工功能、系統及配套相對簡單、廉價等優點，廣泛應用于納米科技、材料科學、物理、化學和生命科學等領域，并取得許多重要成果。
