掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。
根據電子槍種類可分為三種：場發射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭 。
其中，場發射掃描電子顯微鏡根據光源性能可分為冷場發射掃描電子顯微鏡和熱場發射掃描電子顯微鏡。
冷場發射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高，束流不穩定，發射體使用壽命短，需要定時對針尖進行清洗，僅局限于單一的圖像觀察，應用范圍有限；而熱場發射掃描電子顯微鏡不僅連續工作時間長，還能與多種附件搭配實現綜合分析。
在地質領域中，我們不僅需要對樣品進行初步形貌觀察，還需要結合分析儀對樣品的其它性質進行分析，所以熱場發射掃描電子顯微鏡的應用更為廣泛。