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  • 發布時間:2018-03-30 11:53 原文鏈接: 掃描電鏡之二次電子

    入射電子與樣品相互作用后,使樣品原子較外層電子(價帶或導帶電子)電離產生的電子, 稱二次電子。二次電子能量比較低,習慣上把能量小于 50eV 電子統稱為二次電子。二次電 子能量低,僅在樣品表面 5nm-10nm 的深度內才能逸出表面,這是二次電子分辨率高的重 3 要原因之一。凸凹不平的樣品表面所產生的二次電子,用二次電子探測器很容易全部被收集, 所以二次電子圖像無陰影效應,二次電子易受樣品電場和磁場影響。二次電子的產額δ≒ K/cosθ,K 為常數,θ為入射電子與樣品表面法線之間的夾角,θ角越大,二次電子產額越 高,這表明二次電子對樣品表面狀態非常敏感。二次電子的產額除了和電子入射角、樣品表 面狀態有關外,還與電子束加速電壓、樣品組成等有關。

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