掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀, 但由于其本身具有許多獨特的優點, 發展速度是很快的。
1 儀器分辨率較高, 通過二次電子像能夠觀察試樣表面6nm左右的細節, 采用LaB6電子槍, 可以進一步提高到3nm。
2 儀器放大倍數變化范圍大, 且能連續可調。因此可以根據需要選擇大小不同的視場進行觀察, 同時在高放大倍數下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像。
3 觀察樣品的景深大, 視場大, 圖像富有立體感, 可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等, 使人具有親臨微觀世界現場之感。
4 樣品制備簡單, 只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理, 就可直接放到掃描電鏡中進行觀察, 因而更接近于物質的自然狀態。