能譜（EDS）結合掃描電鏡使用，能進行材料微區元素種類與含量的分析。
其工作原理是：各種元素具有自己的 X 射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量 E。能譜儀就是利用不同元素 X 射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。能譜定量分析的準確性與樣品的制樣過程、樣品的導電性、元素的含量以及元素的原子序數有關。
因此，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差（數據庫及標準），我們無法消除，也有一些人為的因素產生的誤差，這些元素都會導致能譜定量不準確。
