掃描透射電子顯微鏡的應用

掃描透射電子顯微鏡是指透射電子顯微鏡中有掃描附件者，尤其是指采用場發射電子槍作成的掃描透射電子顯微鏡。掃描透射電子顯微分析是綜合了掃描和普通透射電子分析的原理和特點而出現的一種新型分析方式。

掃描透射電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的一種發展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜試樣上掃描，與掃描電子顯微鏡不同之處在于探測器置于試樣下方，探測器接受透射電子束流或彈性散射電子束流，經放大后，在熒光屏上顯示與常規透射電子顯微鏡相對應的掃描透射電子顯微鏡的明場像和暗場像。