1、接通220V電源，打開“電源鎖”，微水測量儀的電源指示燈亮，電路接通。
2、打開“運行開關”，運行指示燈亮，微水測量儀運轉。
3、5-10分鐘后，打開“測量開關”，測量指示燈亮，探槍窗口有紫色光發出；若無光亮發出，預熱幾分鐘后，探槍窗口會發出紫色光亮。
4、把“調檔旋鈕”打到“自校”處，儀器需預熱10-15分鐘，指針回到20格以下，說明微水測量儀正常，可以檢測。否則，可能微水測量儀出現異常可周圍環境里SF6氣體太多。
5、把“調檔旋鈕”打到所需要的靈敏度處，然后用“調零旋鈕”把微水測量儀的指示調整到零。
6、向零方向調整報警旋鈕為臨界值，儀器發出聲音報警。
7、滿足上述要求表示微水測量儀具備了測量條件，可以進行SF6氣體的定性和定量檢漏。
9、當發現泄漏點時，微水測量儀發出報警聲，報警指示燈閃爍，指針發生偏轉，從儀表上可以得出SF6泄漏的測量值，然后查標準曲線得出SF6泄漏濃度，通過計算得出年泄漏率。