| 儀器名稱： | 掃描電鏡 |
| 儀器編號： | 02012309 |
| 產地： | 日本 |
| 生產廠家： | 日本電子公司 |
| 型號： | JSM-6460LV |
| 出廠日期： | 200208 |
| 購置日期： | 200210 |
| 所屬單位： | 材料學院>先進材料薄膜材料實驗室 |
| 放置地點： | 逸夫技科樓1134室 |
| 固定電話： | |
| 固定手機： | |
| 固定email： | |
| 聯系人： | 曾飛（010-62795373,18600206173,zengfei@mail.tsinghua.edu.cn） 潘峰（010-62784546,13263457400,panf@mail.tsinghua.edu.cn） 劉興濤（010-62795910,13910534338,liuxingtao@tsinghua.edu.cn） |
| 分類標簽： | 掃描電鏡 形貌 能譜 元素分析 |
| 技術指標： | 二次電子分辨率：3.0nm(30KV，WD8mm)；放大倍數：5~300,000；5軸馬達驅動 |
| 知名用戶： | Luo J T, Pan F, Fan P, et al. Cost-effective and high frequency surface acoustic wave filters on ZnO: Fe/Si for low-loss and wideband application[J]. Applied Physics Letters, 2012, 101(17): 172909.Fu S, Li Q, Gao S, et al. Quality-enhanced AlN epitaxial films grown on c-sapphire using ZnO buffer layer for SAW applications[J]. Applied Surface Science, 2017, 402: 392-399. |
| 技術團隊： | 用專職的工程師負責管理維善儀器，多名助教研究生 |
| 功能特色： | 顯微結構的分析，納米尺寸的研究 |
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