氧化物半導體（oxide semiconductor）具有半導體特性的一類氧化物。氧化物半導體的電學性質與環境氣氛有關。
氧化物半導體ZnO、CdO、SnO2等常用于制造氣敏元件，Fe2O3、Cr2O3、Al2O3等常用于制造濕敏元件；SnO2膜用于制做透明電極等。
