放大倍率大。。高達幾十萬倍。。
分辨率高。。幾個nm
景深大
成本高
樣品可能需要前處理
操作較復雜
以下抄來的:
和光學顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡SEM(Scanning Electron Microscope)具有以下特點:
(一) 能夠直接觀察樣品表面的結構,樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二) 樣品制備過程簡單,不用切成薄片。
(三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉,因此,可以從各種角度對樣品進行觀察。
(四) 景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
(五) 圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高。可放大十幾倍到幾十萬倍,它基本上包括了從放大鏡、光學顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學顯微鏡與透射電鏡之間,可達3nm。
(六) 電子束對樣品的損傷與污染程度較小。
(七) 在觀察形貌的同時,還可利用從樣品發出的其他信號作微區成分分析。
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