原理：高能電子束照射樣品產生X射線，不同元素發出的特征X射線具有不同頻率，即具有不同能量，通過檢測不同光子的能量來對元素進行定性分析，另元素的含量與X射線的強度有關系，通過此關系可以對元素進行定量分析。
分析元素范圍：4號鈹(Be)-92號鈾(U)
分析特點：一般與電鏡組合用于微區及表面分析；主要用于元素的定性及半定量分析，可實現全元素掃描，檢出限較高；可進行元素的面、線、點分布分析。
