中文名稱
離子散射譜儀
英文名稱
ion-scattering spectrometer
定 義
能產生基本上是單能、單電荷、低能離子束，并能測定沿已知角從固體表面散射出來的探針離子能量分布的能譜儀。
應用學科
機械工程（一級學科），分析儀器（二級學科），能譜和射線分析儀器-能譜和射線分析儀器儀器和附件（三級學科）
