臭氧（O3）主要存在于距地球表面20千米的同溫層下部的臭氧層中，含量約50ppm。氧氣的同素異形體，在常溫下，它是一種有特殊臭味的淡藍色氣體。吸收對人體有害的短波紫外線，防止其到達地球，以屏蔽地球表面生物，不受紫外線侵害。
臭氧檢測儀采用紫外光度法測臭氧原理，當空氣樣品以恒定的流速進入儀器的氣路系統，樣品空氣交替地或直接進入吸收池或經 過臭氧滌去器再進入吸收池，臭氧對254nm 波長的紫外光有特征吸收，零空氣樣品，通過吸 收池時被光檢測器檢測的光強度為I0，臭氧樣品通過吸收池時被光檢測器檢測的光強度為I， I/I0 為透光率。每經過一個循環周期，儀器的微處理系統根據朗伯—比耳定律求出臭氧的濃度。