表面電離（surface ionization，SI）
原子或分子與熾熱的固體表面相互作用實現離子化。樣品涂覆在金屬表面，當加熱金屬表面時樣品受熱蒸發，蒸發出的原子（或分子）大部分飛離金屬表面，一部分與熱金屬表面直接作用形成離子的過程即表面電離。樣品受熱激發釋放電子形成正離子稱其為正熱電離；樣品吸收電子形成負離子稱其為負熱電離。離子化效率取決于表面材料的功函數、表面溫度及樣品的電離電位。
