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  • 發布時間:2022-10-21 10:37 原文鏈接: 1340萬!南京大學意向采購原子力顯微鏡、掃描電鏡等

      近日,南京大學公布2022年11至12月政府采購意向,其中意向采購聚焦離子束系統、原子力顯微鏡和高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光系統,總預算金額1340萬元人民幣。


    采購單位采購項目采購品目采購需求概況預算金額預計
    名稱(萬元)采購日期
    南京大學原子力顯微鏡A02100301 顯微鏡采購原子力顯微鏡1臺,要求具備樣品表面形貌的原子力掃描成像功能,主要用于半導體材料與器件形貌的表征。通過探針針尖的原子力作用掃描樣品表面,獲得包括高度、力學、電學和粗糙度等信息。 設備主要由以下幾部分組成:測試主機、顯微系統、控制主機、控制系統與軟件、配套附件等。 具備多種工作模式:包括但是不限于 接觸模式;輕敲模式;自動掃描模式;磁力顯微鏡;橫向力顯微鏡;相位成像。具備大范圍的樣品水平掃描能力;具備大范圍的Z軸掃描能力,具有智能自動進針方式,附帶正版操作系統與軟件,可放置樣品最大支持8寸,向下兼容,具備高分辨同軸直視光學系統:在操作原子力顯微鏡的同時,可獲得光學圖像;配備主動電磁式防震平臺, 隨設備提供滿足設備質保期內正常使用的常用備件與耗材,包括用于8英寸及以下尺寸晶圓和不規則小片的托盤和夾具等。 質保期:自設備驗收之日起至少1年,質保期內提供全免費保修。在質保期滿后繼續提供技術支持。 交貨地點:南京大學仙林校區。 售后服務響應要求:供應商必須保證快速的服務響應,得到通知后,應在4小時內提供技術支持。需要上門服務的,應在72小時內趕到現場。 培訓要求:設備及其中的重要部件應附帶使用手冊。設備安裝、調試、驗收完成后,供應商對采購人的設備管理、維護人員進行免費培訓,包括軟件、硬件的操作和日常維護、典型應用工藝。2002022年12月
    南京大學聚焦離子束系統A02100305 電子光學及離子光學儀器采購聚焦離子束系統1臺,具備樣品表面形貌的掃描電子顯微成像功能和聚焦離子束加工能力,主要用于半導體材料與器件形貌的表征,TEM制樣和圖形定制。通過高分辨的掃描電子圖像,獲得包括高度、材料、電學和粗糙度等信息。搭配離子束源加工系統,能夠對樣品進行圖形加工。搭配能譜儀EDS,能夠實現掃描圖像與元素分析的對應關系。具備液態 Ga 離子源,電子槍類型為肖特基場發射燈絲;配備獨立二次電子探測器,配備鏡筒內獨立二次電子探測器;配備CCD 相機系統;可實現二次電子信號與背散射信號同時成像;擁有至少1支獨立的單氣體注入系統,全無油真空系統;配備 UPS 電源系統。配置操作系統,至少兩臺 24” LCD 顯示器;帶有旋鈕控制面板鍵盤、鼠標, 控制樣品臺的遙感操作系統。配置能譜儀EDS一套,配置主動式減震臺一套,包括用于6英寸及以下尺寸晶圓和不規則小片的托盤和夾具等。質保期:自設備驗收之日起至少1年,質保期內提供全免費保修。在質保期滿后繼續提供技術支持。 交貨地點:南京大學仙林校區。售后服務響應要求:供應商必須保證快速的服務響應,得到通知后,應在4小時內提供技術支持。需要上門服務的,應在72小時內趕到現場。 培訓要求:設備及其中的重要部件應附帶使用手冊。設備安裝、調試、驗收完成后,供應商對采購人的設備管理、維護人員進行免費培訓,包括軟件、硬件的操作和日常維護、典型應用工藝。6502022年12月
    南京大學高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光系統A02100301 顯微鏡采購高分辨掃描電子顯微鏡與陰極熒光系統1套,具備樣品表面形貌的掃描電子顯微成像功能,用于半導體材料與器件形貌的表征。通過高分辨的掃描電子圖像,獲得包括高度、材料、電學和粗糙度等信息。能夠實現二次電子成像;搭配陰極熒光測試系統,能夠對樣品的發光性能進行分析表征。能夠實現掃描圖像與陰極熒光光譜的對應。 具備低電壓配備電子束減速模式,配置樣品電流監視器,無油機械泵,磁懸浮渦輪分子泵和離子泵。至少2臺24”LCD顯示器,計算機系統附帶專業Windows 操作系統,預留光電關聯接口。配置陰極熒光光譜儀探測器一套 配置主動減震臺,配置液氮冷凍裝置 一套,隨設備提供滿足設備質保期內正常使用的常用備件與耗材,包括用于6英寸及以下尺寸晶圓和不規則小片的托盤和夾具等。質保期:自設備驗收之日起至少1年,質保期內提供全免費保修。交貨地點:南京大學仙林校區。 供應商必須保證快速的服務響應,得到通知后,應在4小時內提供技術支持。需要上門服務的,應在72小時內趕到現場。設備及其中的重要部件應附帶使用手冊。設備安裝、調試、驗收完成后,供應商對采購人的設備管理、維護人員進行免費培訓,包括軟件、硬件的操作和日常維護、典型應用工藝。4902022年12月


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