1 X射線能譜儀的工作原理
當電子槍發射的高能電子束進入樣品后，與樣品原子相互作用，原子內殼層電子被電離后，由較外層電子向內殼層躍遷產生具有特定能量的電磁輻射光子，即特征X射線。X射線能譜儀就是通過探測樣品產生的特征X射線能量來確定其相對應的元素，并對其進行相應的定性、定量分析。
2 掃描電鏡中X射線能譜儀的應用
微區分析中，掃描電鏡結合X射線能譜儀是微區形貌觀察和成分分析最常用的手段。能譜儀在不損壞試樣的情況下，可對樣品成分進行定性、定量分析，且分析速度快，靈敏度高，在材料科學、生物培養、醫學手術、地礦勘探等各個領域被廣泛應用。