根據X射線熒光的產生原理,一臺X射線熒光光譜儀在結構上主要由激發源、色散系統、探測系統等3部分組成。按照色散方式的不同,X射線熒光光譜儀可以分為2類:波長色散型X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散型X射線熒光光譜儀(EDXRF)。下面主要介紹波長色散型X射線熒光光譜儀(WDXRF)的儀器結構以及各結構作用。