通常包括溶液法、蒸鍍法以及液相/氣相混合沉積方法等。
其中,溶液法由于操作簡單、成本低廉得到更多的關注。在溶液法中,采用兩步順序沉積法能夠簡便的實現致密的鈣鈦礦薄膜,為高性能的鈣鈦礦太陽能電池奠定了基礎。在傳統的兩步溶液法中,碘化鉛首先被沉積在介孔氧化物骨架上,而后再將基片浸入到甲胺碘溶液中。
甲胺碘溶液通過骨架上的孔洞向薄膜中滲透,與碘化鉛充分接觸和反應,從而生成鈣鈦礦吸光層。
然而,在平面異質結鈣鈦礦太陽能電池中,由于沒有使用介孔氧化物骨架,碘化鉛會形成一層致密的薄膜,如果再采用常規的浸泡甲胺碘溶液的薄膜生長方法,那么只有表層的碘化鉛能夠與甲胺碘接觸反應,僅在表層生成一薄層鈣鈦礦層,這就造成薄膜中含有大量的碘化鉛殘余,由此導致活性層吸光不夠、電荷的傳輸電阻較大,因而器件性能會比較低。
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